高分辨X射線衍射儀

利用衍射原理，精確測(cè)定物質(zhì)的晶體結(jié)構(gòu)，織構(gòu)及應(yīng)力，精確的進(jìn)行物相分析，定性分析，定量分析的儀器?？蓪?duì)半導(dǎo)體和單晶晶圓進(jìn)行倒易空間探索、搖擺曲線分析，對(duì)多晶固體和薄膜進(jìn)行織構(gòu)分析、反射測(cè)量，對(duì)超薄薄膜、納米材料和非晶層進(jìn)行掠入射物相鑒定、面內(nèi)衍射。具有高分辨率測(cè)角儀，準(zhǔn)確性更高且定位反饋時(shí)間更短；具有在半導(dǎo)體和薄膜應(yīng)用中的特殊優(yōu)勢(shì)，該探測(cè)器具備完整的多功能性，允許實(shí)現(xiàn)高動(dòng)態(tài)范圍的測(cè)量，而無需進(jìn)行光束