三維光學(xué)輪廓儀

主要用于碳化硅樣品切割粗糙度和關(guān)鍵尺寸的測量分析。碳化硅器件加工工藝中需要反復(fù)驗證切割樣品表面形貌，從而不斷優(yōu)化切割工藝，提高切割效率及質(zhì)量，完成最優(yōu)6英寸碳化硅晶圓微射流激光切割整體方案的提煉。通過使用多種物鏡和圖案識別，可以亞納米垂直分辨率在多個視場跟蹤特征，提供不受尺寸大小影響的結(jié)果。全新通用掃描干涉（USI）測量模式可提供全自動、自感知表面紋理、優(yōu)化信號處理，同時對所分析的表面形貌執(zhí)行最準