碳化硅
氮化鎵外延片(GaN-on-SiC)與藍(lán)寶石氮化鎵外延片(GaN-on-Sapphire)的核心區(qū)別源于
襯底材料的差異(分別為碳化硅 SiC 和藍(lán)寶石 Al?O?),這種差異直接導(dǎo)致了兩者在晶體質(zhì)量、物理性能、器件表現(xiàn)、成本及應(yīng)用場(chǎng)景上的顯著不同。以下從多個(gè)維度展開(kāi)詳細(xì)對(duì)比:
襯底是外延層生長(zhǎng)的 “基底”,其自身的晶體結(jié)構(gòu)、導(dǎo)熱性、絕緣性等參數(shù)是決定外延片性能的根本因素。兩者的襯底特性對(duì)比見(jiàn)下表:
基于襯底特性的不同,兩種外延片在外延層質(zhì)量和器件性能上形成了明確分野:
外延層的質(zhì)量核心指標(biāo)是位錯(cuò)密度(晶體缺陷的數(shù)量,直接影響器件壽命和可靠性):
GaN-on-SiC:由于 SiC 與 GaN 的晶格常數(shù)、熱膨脹系數(shù)匹配度更高,外延生長(zhǎng)時(shí)產(chǎn)生的應(yīng)力更小,因此位錯(cuò)密度極低(通常可低至 10?-10? cm?2),外延層均勻性好。
GaN-on-Sapphire:藍(lán)寶石與 GaN 的晶格 / 熱失配率大,外延生長(zhǎng)易產(chǎn)生大量位錯(cuò)(通常為 10?-10? cm?2),需通過(guò) “緩沖層技術(shù)”(如 AlN 緩沖層)緩解缺陷,但仍難以達(dá)到 SiC 襯底的水平。
襯底的導(dǎo)熱性是影響器件功率密度和壽命的關(guān)鍵:
散熱能力:SiC 的導(dǎo)熱率是藍(lán)寶石的 16 倍以上,因此 GaN-on-SiC 器件的熱阻極低,能快速導(dǎo)出大功率工作時(shí)產(chǎn)生的熱量,避免器件因過(guò)熱失效。
功率密度:GaN-on-SiC 可承受更高的電流和電壓(如電力電子器件的擊穿電壓更高),功率密度比 GaN-on-Sapphire 高 3-5 倍。
可靠性與壽命:低缺陷密度 + 優(yōu)散熱,使 GaN-on-SiC 器件的壽命更長(zhǎng)(通??蛇_(dá) 10?小時(shí)以上),且抗沖擊、抗老化能力更強(qiáng);而 GaN-on-Sapphire 的高缺陷密度可能導(dǎo)致器件 “失效早發(fā)”。
射頻性能:SiC 的介電損耗低,搭配 GaN 的高頻特性,使 GaN-on-SiC 在射頻領(lǐng)域(如微波、毫米波)的信號(hào)傳輸效率更高,插入損耗更小。
GaN-on-Sapphire:藍(lán)寶石襯底技術(shù)成熟、價(jià)格低廉(約為 SiC 襯底的 1/10-1/20),且大尺寸(8-12 英寸)襯底已量產(chǎn),適合大規(guī)模、低成本的器件制造。
GaN-on-SiC:SiC 單晶的生長(zhǎng)需要高溫(2000℃以上)、高壓環(huán)境,制備周期長(zhǎng)(一塊 6 英寸 SiC 單晶需數(shù)天),且切割、拋光難度大,導(dǎo)致襯底成本極高,量產(chǎn)規(guī)模受限。
兩者的性能與成本差異直接決定了其應(yīng)用領(lǐng)域的 “高低端分化”:
簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō):