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碳化硅氮化鎵外延片和藍(lán)寶石氮化鎵外延片有什么區(qū)別?

碳化硅氮化鎵外延片和藍(lán)寶石氮化鎵外延片有什么區(qū)別?

2025-09-17 09:17
碳化硅氮化鎵外延片(GaN-on-SiC)與藍(lán)寶石氮化鎵外延片(GaN-on-Sapphire)的核心區(qū)別源于襯底材料的差異(分別為碳化硅 SiC 和藍(lán)寶石 Al?O?),這種差異直接導(dǎo)致了兩者在晶體質(zhì)量、物理性能、器件表現(xiàn)、成本及應(yīng)用場(chǎng)景上的顯著不同。以下從多個(gè)維度展開(kāi)詳細(xì)對(duì)比:

一、核心差異:襯底材料特性對(duì)比

襯底是外延層生長(zhǎng)的 “基底”,其自身的晶體結(jié)構(gòu)、導(dǎo)熱性、絕緣性等參數(shù)是決定外延片性能的根本因素。兩者的襯底特性對(duì)比見(jiàn)下表:

特性參數(shù)碳化硅(SiC)襯底藍(lán)寶石(Al?O?)襯底
材料化學(xué)式SiCAl?O?
晶體結(jié)構(gòu)六方晶系(與 GaN 同晶系)六方晶系(與 GaN 同晶系)
晶格常數(shù)匹配度與 GaN 的晶格失配率≈3.5%(匹配度較高)與 GaN 的晶格失配率≈13.8%(匹配度較低)
熱膨脹系數(shù)匹配度與 GaN 的熱失配率較低與 GaN 的熱失配率較高
導(dǎo)熱率(25℃)~490 W/(m?K)(極高,散熱能力強(qiáng))~30 W/(m?K)(較低,散熱能力弱)
介電常數(shù)較高(約 9.7)較高(約 10)
絕緣性絕緣(室溫下電阻率 > 101? Ω?cm)絕緣(室溫下電阻率 > 101? Ω?cm)
襯底成本高(制備工藝復(fù)雜,單晶生長(zhǎng)難度大)低(技術(shù)成熟,量產(chǎn)規(guī)模大)
襯底尺寸主流為 4-6 英寸,8 英寸逐步量產(chǎn)主流為 6-8 英寸,12 英寸已實(shí)現(xiàn)規(guī)?;?/td>

二、關(guān)鍵性能差異推導(dǎo)

基于襯底特性的不同,兩種外延片在外延層質(zhì)量器件性能上形成了明確分野:

1. 外延層質(zhì)量:缺陷密度與均勻性

外延層的質(zhì)量核心指標(biāo)是位錯(cuò)密度(晶體缺陷的數(shù)量,直接影響器件壽命和可靠性):

  • GaN-on-SiC:由于 SiC 與 GaN 的晶格常數(shù)、熱膨脹系數(shù)匹配度更高,外延生長(zhǎng)時(shí)產(chǎn)生的應(yīng)力更小,因此位錯(cuò)密度極低(通常可低至 10?-10? cm?2),外延層均勻性好。

  • GaN-on-Sapphire:藍(lán)寶石與 GaN 的晶格 / 熱失配率大,外延生長(zhǎng)易產(chǎn)生大量位錯(cuò)(通常為 10?-10? cm?2),需通過(guò) “緩沖層技術(shù)”(如 AlN 緩沖層)緩解缺陷,但仍難以達(dá)到 SiC 襯底的水平。

2. 器件性能:散熱、功率與可靠性

襯底的導(dǎo)熱性是影響器件功率密度和壽命的關(guān)鍵:

  • 散熱能力:SiC 的導(dǎo)熱率是藍(lán)寶石的 16 倍以上,因此 GaN-on-SiC 器件的熱阻極低,能快速導(dǎo)出大功率工作時(shí)產(chǎn)生的熱量,避免器件因過(guò)熱失效。

  • 功率密度:GaN-on-SiC 可承受更高的電流和電壓(如電力電子器件的擊穿電壓更高),功率密度比 GaN-on-Sapphire 高 3-5 倍。

  • 可靠性與壽命:低缺陷密度 + 優(yōu)散熱,使 GaN-on-SiC 器件的壽命更長(zhǎng)(通??蛇_(dá) 10?小時(shí)以上),且抗沖擊、抗老化能力更強(qiáng);而 GaN-on-Sapphire 的高缺陷密度可能導(dǎo)致器件 “失效早發(fā)”。

  • 射頻性能:SiC 的介電損耗低,搭配 GaN 的高頻特性,使 GaN-on-SiC 在射頻領(lǐng)域(如微波、毫米波)的信號(hào)傳輸效率更高,插入損耗更小。

3. 成本與量產(chǎn)難度

  • GaN-on-Sapphire:藍(lán)寶石襯底技術(shù)成熟、價(jià)格低廉(約為 SiC 襯底的 1/10-1/20),且大尺寸(8-12 英寸)襯底已量產(chǎn),適合大規(guī)模、低成本的器件制造。

  • GaN-on-SiC:SiC 單晶的生長(zhǎng)需要高溫(2000℃以上)、高壓環(huán)境,制備周期長(zhǎng)(一塊 6 英寸 SiC 單晶需數(shù)天),且切割、拋光難度大,導(dǎo)致襯底成本極高,量產(chǎn)規(guī)模受限。

三、應(yīng)用場(chǎng)景分化

兩者的性能與成本差異直接決定了其應(yīng)用領(lǐng)域的 “高低端分化”:

維度GaN-on-SiC(碳化硅基)GaN-on-Sapphire(藍(lán)寶石基)
核心優(yōu)勢(shì)高導(dǎo)熱、低缺陷、高功率、長(zhǎng)壽命低成本、大尺寸、絕緣性好
典型應(yīng)用領(lǐng)域1. 電力電子:新能源汽車(chē)逆變器、高壓變頻器、光伏逆變器
2. 射頻電子:5G 基站射頻功率放大器(PA)、雷達(dá)、衛(wèi)星通信
3. 高端光電子:紫外 LED(深紫外 DUV)
1. 通用光電子:白光 LED(照明、背光)、顯示面板(Mini/Micro LED)
2. 中低功率電子:消費(fèi)電子快充(中低功率 GaN 芯片)
3. 普通紫外 LED:消毒、固化
市場(chǎng)定位高端、高附加值、高可靠性需求中低端、規(guī)?;?、低成本需求

四、總結(jié):核心差異與選擇邏輯

對(duì)比維度GaN-on-SiCGaN-on-Sapphire
襯底核心特性高導(dǎo)熱、高匹配度、高成本低導(dǎo)熱、低匹配度、低成本
外延層質(zhì)量位錯(cuò)密度低,質(zhì)量?jī)?yōu)位錯(cuò)密度高,質(zhì)量中等
器件核心能力高功率、高頻、優(yōu)散熱、長(zhǎng)壽命中低功率、低成本、適合規(guī)?;?/td>
核心應(yīng)用新能源、5G 射頻、雷達(dá)等高端領(lǐng)域LED 照明、消費(fèi)電子快充等民用規(guī)模化領(lǐng)域

簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō):

  • 若需求是 **“高性能、高可靠、能扛大功率”(如新能源汽車(chē)、5G 基站),選GaN-on-SiC**;

  • 若需求是 **“低成本、大規(guī)模、中低功率”(如家用 LED 燈、手機(jī)快充),選GaN-on-Sapphire**。


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