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快速退火(2臺(tái))

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半導(dǎo)體放在一定的溫度下進(jìn)行退火,以恢復(fù)晶體的結(jié)構(gòu)和消除缺陷。 同時(shí),退火還有激活施主和受主雜質(zhì)的功能,即把有些處于間隙位置的雜質(zhì)原子通過退火而讓它們進(jìn)入替代位置。

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