用于減薄4寸和6寸碳化硅晶圓，該設(shè)備通過砂輪軸帶動砂輪旋轉(zhuǎn)進給，切削吸附在工作臺上做旋轉(zhuǎn)的晶圓，從而進行晶圓的減薄,具有減薄速度快，精度高；單片晶圓內(nèi)TV5≤3um
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