可廣泛應(yīng)用于偵測各種器件缺陷所產(chǎn)生的漏電流,包括柵氧化層缺陷(Gate oxide defects)、靜電失效(ESD Failure)、閂鎖效應(yīng)(Latch Up)、漏電(Leakage)、結(jié)漏電(Junction Leakage) 、正向偏壓(Forward Bias)及在飽和區(qū)域工作的晶體管,可由EMMI定位,找熱點或亮點位置,進(jìn)而獲得漏電原因,幫助后續(xù)進(jìn)一步的失效分析。配備Si CCD以及
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