可實(shí)現(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體器件和晶圓從基礎(chǔ)電流-電壓(I-V)表征到最佳快速脈沖 IV 測(cè)試的全方位測(cè)量。配備MPI半自動(dòng)探針臺(tái) MPI TS2000-SE。支持 IV 測(cè)試,可連接探針臺(tái)測(cè)試。具有超高分辨率模塊,電流測(cè)試精度達(dá)到1fA,能夠進(jìn)行IVT測(cè)試,測(cè)試間隔100μs-65.535s。
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