電子束蒸發(fā)臺

使用電子束對金屬材料進(jìn)行加熱蒸發(fā)，并在真空環(huán)境中粘附至晶圓表面，形成表面金屬層。主要用于功率器件工藝中Ti、Ni、Ag、Al等金屬蒸發(fā)，具有作業(yè)量大，均勻性好等優(yōu)勢。