它是一種先進(jìn)薄厚膜的臺(tái)階高度掃描工具。除了仿形表面形貌和波狀起伏外，DektakXT系統(tǒng)掃描納米量程的粗糙度。該系統(tǒng)根據(jù)用戶設(shè)定的掃描長度，速度和探針力經(jīng)過電機(jī)移動(dòng)平臺(tái)使金剛石探針在樣品表面掃描。
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