利用光譜反射技術(shù)，利用190~1100nm光譜垂直入射至樣品表面，光線在薄膜薄界面處反射后干涉，記錄干涉強(qiáng)度隨著波長(zhǎng)的變化，通過傅里葉變化可以計(jì)算得到膜層厚度。
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