將含有所需化學(xué)元素的有機(jī)化合物或金屬有機(jī)化合物和氫化物注入反應(yīng)腔中，在襯底表面發(fā)生反應(yīng)，為晶體生長創(chuàng)造條件，形成材料和化合物半導(dǎo)體的外延。
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