功率半導(dǎo)體器件靜態(tài)參數(shù)測試系統(tǒng)

可表征功率器件的以下靜態(tài)特性：導(dǎo)通電阻、閾值電壓、跨導(dǎo)、輸入輸出與反向轉(zhuǎn)移電容、擊穿電壓和柵極電荷。配備不同電壓電流測試范圍模塊，可滿足高精度特高壓及特大電流測試需求。配備Formfactor高壓探針臺，后續(xù)會升級高溫測試功能。具有超高電壓模塊（N1268），電壓輸出能達(dá)10kV；具有超高電流模塊（N1265），脈沖輸出電流能達(dá)500A；能夠進(jìn)行IVT測試，測試間隔100μs-65.535s。